烤膠機(jī)  智能型烘膠臺 高精度熱板 

  光刻工藝及其相干技術(shù)是微電子機(jī)械系統(tǒng)（MEMS）加工工藝的重要構(gòu)成部門。均膠以及烘焙是光刻工藝中不成缺少的一道兒工序，為增長膠層與硅片表面粘附能力，提高在接觸式暴光中膠層與掩模版接觸時的耐磨性能及不變膠層的感光靈敏度。高精密程控烤膠機(jī)是一種設(shè)計為精確控溫、準(zhǔn)確計時和接近式加熱的高性能實驗室設(shè)備，可實現(xiàn)智能化編程烤膠控制。

  烤膠機(jī)升溫速度快，由高性能數(shù)顯溫控表加熱控制，長壽命、高熱均勻性的發(fā)熱部件供熱，高硬度、耐腐蝕的陽極氧化鋁面板。

適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導(dǎo)電玻璃等工藝，光刻膠快速固化,制版的表面涂覆后，薄膜烘干，固化。熱板溫度穩(wěn)定度高，重復(fù)性好?？稍诠さV企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學(xué)之用。

烤膠機(jī)  智能型烘膠臺 高精度熱板性能 

加熱尺寸：220*220mm,450*550mm/可定制；

溫度范圍：RT～300/400/500°C ；

溫度精度：0.1°C；

溫度均勻性：≤±1℃；

電動頂針調(diào)節(jié)高度: 0～30mm；

限位裝置：配有4根限位針；

加熱臺表面：耐腐蝕硬質(zhì)陽極氧化鋁制成；

真空吸附：樣品接觸加熱臺后真空吸附，可設(shè)置延時吸附；

加熱臺外殼：優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑；

控制器單元：7寸全彩觸摸屏，高級PLC控制，實現(xiàn)在指定時間內(nèi)自動升降，

可以定時取片；

電壓：220V / 50HZ；

功率：2500W；