無氧烘箱，光刻膠固化烘箱應用工藝

   無氧烤箱應用于精密電子元件、PI膠固化烘烤、BCB固化，光刻膠固化、LCP液晶聚合物熱處理、電子陶瓷材料烘干的特殊工藝要求，模擬線性升降溫環(huán)境，特別適合集成電路/半導體制造、COB封裝、醫(yī)療衛(wèi)生、柔性線路板印刷、精密模具煺火等行業(yè)的無氧化干燥烘烤工藝要求，廣泛應用于生產企業(yè)、高等院校、科研等場所。

無氧烘箱，光刻膠固化烘箱特點

精度高，可調整；

溫度穩(wěn)定性強，可重復性高；

大容量，可批量生產；

兼容性好，適用于2--12寸晶圓；

智能化，操作方便，一鍵運行，無需人工值守；

快速降溫，具有輔助降溫裝置，提高生產效率；

無氧烘箱性能：

溫度范圍：RT+50～450℃；

內箱尺寸：多尺寸定制；

材質：SUS304/316不銹鋼；

氧含量：≤ 20ppm;

數據輸出：溫度記錄/氧濃度記錄

保護功能：短路保護、漏電保護、超溫保護、電機過電流保護、電磁門禁保護

可選功能：

潔凈度：class100

真空度：10pa

自動上下料：機械手

工業(yè)自動化：MES/GEM

無氧烘箱使用環(huán)境

環(huán)境溫、濕度5℃～＋35℃，相對濕度：≤85%；

周圍無強烈震動；    

無陽光直接照射或其它熱源直接輻射，

周圍無強烈電磁場影響；

周圍無高濃度粉塵及腐蝕性物質；