充氮烤箱概述

用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

充氮烤箱結構

烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風道系統組裝而成，結構合理，外觀美觀大方；
箱體材料：外箱采用優(yōu)質拉絲不銹鋼，并經堿性蘇打水清潔，可防止微塵；
內膽材料：采用優(yōu)質SUS304鏡面不銹鋼板，并經堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時產生 PARTICLE；

性能

1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內部等級達到Class 100；
2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產器，防機臺本身所產生微塵；
3.采平面水平由后向前送風熱風循環(huán)系統，風源由循環(huán)馬達運轉帶動風輪經電熱器，將熱風由風道送至烤箱內部，且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環(huán)加熱，省電節(jié)能溫度均勻性好，過濾效率99.99%，Class 100；
4.強制送風循環(huán)方式。雙風道循環(huán)結構，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統，得到*溫度控制精度。

技術參數

潔凈度100級的潔凈熱處理HEPA過濾器與前出風水平層對流循環(huán)方式實現并保證箱內的溫度分布的均勻性與100級潔凈度。zui小限度控制風速距離。

M計裝可編程控制1模式20步驟，zui多可做10個模式。溫度上升·下降斜率設定程序的重復次數在1-999次間設定。簡單操作的標準計裝
標準配置定值運行模式以及自動啟動·自動停止等可設定動作的程序運行。標準配置溫度過升防止器。