表面疏水性處理設(shè)備 陶瓷玻璃疏水處理機通過氣相涂布硅烷偶聯(lián)劑HMDS實現(xiàn)陶瓷表面疏水性能的提高,陶瓷表面接觸角為118?135度,且疏水材料與陶瓷基體的的附著性能好。
納米陶瓷材料表面疏水HMDS處理系統(tǒng)生產(chǎn)工藝周期短,提高生產(chǎn)效率; 修飾液用量極少,節(jié)約成本90%; 閉環(huán)的工藝過程,安全系數(shù)高。
HMDS氣相成底膜烘箱 真空HMDS氣相烘箱在晶圓上行噴涂hmds預(yù)處理的工藝,將晶圓表面親水性的置換為疏水性的,使晶圓表面接觸角達到65或更高。
掩膜版HMDS真空烘箱 hmds烤箱使基底表面由親水性變?yōu)槭杷?,增強表面的黏附性(HMDS-六甲基二硅胺烷)。適用于硅片、麟化銦、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料。
HDMS烘箱 HDMS真空烘箱 HDMS預(yù)處理烘箱保護裝置:緊急停止,HMDS藥液泄漏報&警提示,HMDS低液位報&警,超溫保護,漏電保護,過熱保護等