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HMDS涂布機(jī),hmds涂膠機(jī)工藝原理

更新時(shí)間:2019-04-12   點(diǎn)擊次數(shù):12979次

HMDS涂布機(jī),hmds涂膠機(jī)工藝原理

HMDS涂布機(jī),hmds涂膠機(jī)用途
   在 MEMS 產(chǎn)品的研發(fā)過程中,在 PZ 層去膠之后發(fā)現(xiàn)有嚴(yán)重的側(cè)向腐蝕現(xiàn)象。這種現(xiàn)象可以直接從顯微鏡目檢中檢查出,而且在整個(gè)晶圓的表面呈現(xiàn)無規(guī)則的分布。這種過腐蝕現(xiàn)象會(huì)嚴(yán)重的影響到 MEMS 產(chǎn)品的性能。然兒涂膠前處理的HMDS 涂布只會(huì)影響到光刻膠與襯底之間的黏附性,對(duì)其他工藝參數(shù)的影響十分微小,這對(duì)于改善光刻膠與襯底之間的黏附性問題,是十分有利的。
HMDS涂布機(jī),hmds涂膠機(jī)原理

在提升光刻膠的黏附性工藝中,實(shí)際上HMDS(六甲基二硅烷)并不是作為粘結(jié)劑所產(chǎn)生作用的,而是HMDS 改變了 SiO2 的界面結(jié)構(gòu),從而使晶圓的性質(zhì)由親水性表面轉(zhuǎn)變?yōu)槭杷员砻妗?nbsp;

   光刻膠與晶圓表面之間的黏附性問題,除了受到分子鍵合的影響,還受到其他重要因素的影響。如表面的水分就是其中的主要因素,會(huì)減少黏附性,從而造成掀膠和側(cè)向腐蝕。HMDS 涂布是涂膠前對(duì)硅片表面進(jìn)行處理,可以增加硅片表面水分子的接觸角,使硅片表面從親水性轉(zhuǎn)化為疏水性。
  HMDS 一般采用蒸汽涂布的方式。簡(jiǎn)單評(píng)價(jià)晶圓的表面黏附性好壞,可以將晶圓進(jìn)行 HMDS 涂布,然后在晶圓的表面滴一滴水珠,然后通過測(cè)量水珠的接觸角,來進(jìn)行晶圓表面黏附性好壞的判斷。當(dāng)接觸角角度越大,說明黏附性越好,也就意味著疏水性越強(qiáng)。
HMDS涂膠機(jī)技術(shù)指標(biāo)

 

1設(shè)備名稱

HMDS涂膠機(jī)

2、設(shè)備型號(hào)

 JS-HMDS90

3、設(shè)備主要技術(shù)參數(shù)                                                          

3.1 內(nèi)腔尺寸

450×450×450(mm)可選其他數(shù)據(jù)

3.2  材質(zhì)

 外箱采用冷軋板噴塑、304不銹鋼,內(nèi)箱采用316L醫(yī)用級(jí)不銹鋼

3.3 溫度范圍

 RT+10-200℃

3.4 溫度分辨率

 0.1℃

3.5 溫度波動(dòng)度

 ±0.5

3.6 真空度

 133pa(1torr)

3.7 潔凈度

class 100,設(shè)備采用無塵材料,適用100級(jí)光刻間凈化環(huán)境

3.8電源及總功率

 AC 22±10% / 50HZ       總功率約2.5KW    

3.9 控制儀表

 人機(jī)界面

3.10擱板層數(shù)

 2層

3.11 HMDS控制

可控制HMDS藥夜添加量

3.12真空泵

油泵、干泵

 

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